일반기술
마이크로 구동기 일체형 마이크로 미러 제작 기술
- 유리기판의 평면형 금속 배선 가공기술 - 금속배선 유리 기판과 실리콘 기판 Anodic Bonding 접합기술 - CMP를 이용한 Mirror Plate 두께 제어 및 편평도 기술 - 마이크로 Gap을 위한 KOH Wet Etch 정밀 식각기술 - DRIE를 이용한 마이크로 빔 형성기술- 편평도와 표면 조도가 우수한 마이크로 미러 및 구동기의 일괄 제작 기술
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전자제품
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-08-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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