일반기술
초미세 압전구동형 광학반사체 및 제작기술
(1)구조및공정설계:초미세압전구동형광학반사체구조및MEMS공정설계기술(2)식각기술:PZT,Pt,SiNX,SiO2(3)보호막형성기술:PolyimideILD(Inter-LayerDielectrics)형성기술(4)구동변위측정기술:마이크로압전구동광학반사체동특성분석시스템구축4개의 마이크로 압전 엑츄에이터에 의해 중앙에 있는 반사체가 정밀하게 구동되도록 구성
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전자제품
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-08-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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