일반기술
반도체장비용 오링의 내구성 및 기밀성 시험장치
본 기술은 반도체 장비용 핵심부품인 O-ring의 종합성능시험을 위한 기밀성 및 내구성 시험장비 개발 기술임. 내구성 시험 기술로는 AC 변속모터 및 가변 Stroke LM 설계기술, 유해가스 주입 MFC 기술, 오일확산 펌프 이용 고진공 Pumping 및 Particle 측정기술. 기밀성 시험 기술로는 He가스 주입장치 및 터보분자 펌프 이용 고진공 Pumping 기술, RGA 센서 이용 Leakage 측정기술........................................
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 금속재료
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-09-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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