일반기술
초미세입자 응축핵계수기
고량의 공기를 냉각하여 입자를 측정할수 있는 기술로 기존의 응축핵계수기는 유량이 작아 클린룸내의 나노입자 개수 측정에 문제가 있었다. 따라서 본기술은 반도체 공정의 나노입자오염을 측정하는데 세계적으로 매우경쟁력 있는 장비가 될 수 있다본기술은 공기에 부유된 초미세입자를 신속하고 용이하게 계수할수 있고 알콜 뿐만아니라 물등 작동유체를 다양하게 사용할수 있다.또한 반도체 클린룸 및 LCD클린룸에도 적용할수 있으며 고유량의 입자개수를 측정할수 있고 현재 클린룸내 나노입자 농도를 측정할수 있는 장비가 없으므로 본장비를 개발하면 시장성과 사업성이 매우 우수할것으로 전망된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 바이오 미소 전자시스템 소자 (F65)
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-11-05
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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