일반기술

Laser Ablation을 이용한 튜브 내면의 코팅기술

본 발명의 레이저 어블레이션을 이용한 튜브 또는 실린더의 내벽 코팅 방법은 건식 공정이므로 공해 유발 요인이 없고 레이저의 직진성을 이용하여 이온 발생원을 실린더의 내부로 쉽게 유도할 수 있으므로 실린더 내면에 균일한 코팅 가능한길이/내경 비의 제한이 없다. 또한 레이저 어블레이션에 의해 발생되는 플라즈마 플룸(plume)은 높은 이온 에너지를 갖는 이온을 발생시키며 이 이온들의 대부분이 이온화되기 때문에 튜브 또는 실린더에 바이어스 전압을 인가하여 코팅층의 표면에서 높은 에너지의 이온충돌을 발생시킬 수 있어서 종래 방법으로는 구현할 수 없었던 고밀도의 치밀한 박막을 실린더 내벽에 코팅할 수 있어 튜브 및 실린더의 내벽에 내식성 내마모성 및 내마멸성을 부여할 수 있다.내벽 코팅하고자 하는 튜브 또는 실린더의 내부 중심축에 코팅 재료로 이루어진 어블레이션 표적을 장착하고 UV 파장의 엑시머 레이저 빔을 평행 빔으로 상기 튜브 또는 실린더의 중심축에 집광시켜(focusing) 상기 튜브 또는 실린더의 내부로 유도하고 상기 어블레이션 표적 재료를 튜브 또는 실린더의 중심축을 따라 회전 및 전후 이동시키면서 레이저 어블레이션(laserablation)을 일으킴으로써 튜브 또는 실린더의 내벽에 박막을 길이 방향으로 균일하게 코팅하는 것을 포함하는 레이저어블레이션을 이용한 튜브 또는 실린더의 내벽 코팅 방법.