일반기술

폐기가스 처리를 위한 연소식 처리장치

연소식 폐기가스 처리장치에서 열원 주위를 감싸며 폐기가스와 공기의 산화연소 반응이 일어나는 반응기 외피를, 공기와 폐기가스의 산화연소반응의 부산물인 미세입자들이 통과할 수는 없지만 공기가 자유롭게 통과할 수 있는 다공성 세라믹으로 형성함으로써, 종래 기술에서 발생하는 반응기 내피 상에 미세입자들의 부착을 방지할 수 있게 된다. 그러므로, 종래 기술에서는 주기적으로 연소식 폐기가스 처리장치의 밀봉용 프랜지를 개봉한 후에 반응기 내피를 청소하여 주어야 하는 불편함을 제거할 수 있다. 이에 따라, 반도체 등과 같이 독성 가스를 사용하는 공정의 중단이 없이 지속적으로 공정이 이루어지기 때문에 작업의 효율성이 향상되어 생산성의 증대도 기대할 수 있는 효과가 있다.반도체 및 TFT LCD 제조공정 중에 발생하는 독성가스를 포함하는 폐기가스를, 열처리를 통한 산화반응으로 처리하기 위한 연소식 폐기가스 처리장치에 관한 것으로서, 폐기가스의 주입을 위한 인입관과, 폐기가스의 산화연소를 위한 히터와, 상기 히터를 감싸며 또한 폐기가스의 산화연소가 일어나는 다공성 세라믹 반응기와, 온도센서와, 폐기가스의 산화연소를 위해 공기를 적절히 공급하기 위한 공기 분배기와, 반응기 외부관과, 연소식 스크루버 내부열이 외부로 방출되는 것을 차단하기 위한 단열재와, 공기를 인입시키는 공기 인입용 블로워와, 인입용 공기중에서 입자를 제거하기 위한 입자제거 필터와, 공기의 인입을 단속하기 위한 솔레노이드 밸브와, 인입용 공기의 압력을 제어하기 위한 압력스위치와, 유입되는 공기의 량을 측정하기 위한 공기 유량계로 구성된다.