일반기술
압전액츄에이터를 가지는 이송장치 및 이를 이용한 극미세 이송시스템
본 특허는 초정밀 위치제어 능력이 우수하고 잔류진동 및 외란을 감소시킬 수 있도록 한 압전 액츄에이터를 가지는 이송장치에 관한 것이다.최근 컴퓨터 및 정보통신의 대용량 고속화 추세에 따라 보다 정밀한 반도체 소자와 고밀도 저장매체의 수요가 급증하고 있다 .이러한 고정밀 소자들은 미세한 에러라도 상품의 품질이나 수명에 큰 영향을 미치게 된다.그러므로 제조공정시 높은 정밀도가 요구되고 있다.기존의 위치조정장치들은 일반적으로 볼스크류. 리드스크류, 슬라이딩 스크류 등이 사용되었다.그러나 고정밀 소자들의 집적화가 높아짐에 따라 이렇나 위치조정 시스템은 제조공정에서 요구하는 정밀도를 만족하지 못하게 되었다.본 기술은 고정밀 소자들의 제조공정에서 요구하는 정밀도를 만족하는 초정밀 위치제어 능력이 우수하고 잔루 진동 및 외란을 효과적으로 감소시킬 수 있는 이송 시스템이다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 정밀기계
- 보유기관
- 정보 없음
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-02-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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