일반기술
고분해능 X-선을 이용한 박막의 구조특성 분석기술
- 고분해능 X-선을 이용한 에피층 또는 단결정 박막의 구조특성을 분석- 고분해능 X선 로킹커브(rocking curve) 측정을 통한 결정성 분석분해능이 높은 X선을 만들기 위하여 시료와 X선 발생기 사이에 결정성이 우수한 단결정을 사용하여 double-crystal diffractometer 구조를 활용한다. 이렇게 하여 일반 X-선으로서는 분석할 수 없는 단결정의 구조특성을 분석- 실리콘 또는 화합물 단결정 반도체 재료의 결정성 또는 구조특성을 분석하여 소자의 특성을 개선할수가 있으므로 기존제품의 개선이나 신제품 개발에 특히 기대효과가 큼
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 표준·측정·시험평가 기술
- 보유기관
- 정보 없음
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-02-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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