일반기술

Outgassing 측정기술

- 진공 게이지, 진공밸브, 전자총, 이온원 등 진공공정에서 사용되는 각종장비로 부터의 Outgassing되는 기체의 양 및 종류 측정기술개발- Outgassing이 공정에 미치는 영향 평가 기술개발- 초고진공시스템과 배기 속도 조절 장치로 구성된 Outgassing 측정장치개발- 전자재료 및 부품, 극고진공용 재료등 기존의 방법으로 측정이 어려운 소형시료로 부터의 Outgassing 혹은 미세량의 Outgassing까지 측정가능- 1996년 삼성전관에 수탁연구 형태로 관련장비 제작기술과 측정기술을 이전한 바 있음- 소형시료 및 고진공용 재료의 Outgassing 측정기술 확보로 신소재 개발 및 표면처리 기술 향상- 반도체 광학 코팅 등 공정평가에 응용함으로써 수율 향상과 생산성 향상 기대- TV브라운관, lamp 및 보온병 제조의 생산성과 품질향상에 기여- 우주항공산업, 고진공장비 산업 발전에 필요한 기반기술임