일반기술
Trichorosilane 제조에 관한 기초기술
반도체 웨이퍼, 태양전지용 실리콘 소재 및 비닐, 페닐 등 유기실리콘 제품의 제조를 위한 중간원료TCS 제조공정의 최적화 : 촉매, 온도, 압력 및 운전조건에 따른 합성최적화, 분리조건 확립, 상업화를 위한 경제성 분석- 태양전지 사용의 확대에 따른 수용창출- 국내의 전자산업의 기반 구축- 다결정실리콘 1kg제조에 약 20g의 TCS가 소모되므로 6,000톤/년의 반도체급 고순도 TCS의 국내 반도체용 다결정 실리콘 제조에 필요함
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 정밀화학물질 기술
- 보유기관
- 정보 없음
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-03-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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