일반기술

수중의 수소 감지를 위한 수소센서

본 기술은 반도체를 이용한 수소센서 개발로 수중의 수소를 측정하는 방법을 제시한 것이다. 본 기술은, 공기중의 측정 방법으로는 후막형(thick film sensor), 박막형(thin film sensor), 연료전지형, MISFET형 등의 수소가스 감지소자가 있는데, 이 센서들을 이용하여 수중의 수소를 측정하는 데는 많은 어려움이 있다. 그래서 수소가스 투과율이 좋은 Pd thin film을 사용하여 수중과 감지소자를 분리하고, 투과한 수소를 감지소자가 측정하게 된다. 본 기술은 수소가스 감지를 위한 MISFET(Metal Isulator Semiconductor Field Effet Transistor) 소자를 제작하고 수중과 소자를 분리하기 위하여 Pd thin film을 사용하여 MISFET 소자를 밀봉(Encapsulation)하고 패키지(Package)화 한다.- 원자력 발전소의 수소가스 발생은 폭발 위험성을 내재하고 있기 때문에 계속적인 용존가스 분석이 필요하다. gas analyzer등의 분석기로 용존가스를 분석하다 보면 상당히 번거롭고 비용이 많이 들며 연속적인 관찰이 어렵움. 정류수내의 수소량을 검지 할 수 있는 센서가 개발된다면 원자력 발전소의 무인화와 자동화가 가능해지고, stator copper coil에 pinhole발생으로 인한 Generator의 고장을 미리 검지할 수 있으므로 국내의 전력공급에 보다 안정된 공급이 가능함- 수중가스 자동분석장치의 생산가격 저하와 활용도의 증대를 기대할 수 있음