일반기술

회전-가압법을 이용한 플라즈마 표시기용 격벽의 제조

본 기술은 플라즈마 평판 표시기의 고휘도, 고효율화, 대형화 및 고정세화에 발 맞추어 기존에 여러 격벽 제조공정들을 대체할 수 있는 회전-가압법에 관한 것이다. 본 기술은 회전-가압법에서 금형의 제조방법과 무거운 실린더와의 접합으로서, 얇은 금속판 위에 LIGA 또는 UV-LIGA 공정으로 Ni 금형을 만들고, 이것을 굽혀서 곡률반경이 큰 무거운 원통에 접합시켜 회전시킬수 있는 금형을 제조한다. 먼저 얇은 금속판 위에 evaporator나 sputter등을 이용하여 Ni seed layer를 형성한뒤 그 위에 PMMA 또는 두꺼운(수 백 ㎛) PR을 도포한다. 그 후 마스크를 제작하여 X-ray 혹은 UV 사진식각법을 이용하여 Ni 금형의 음각모양인 틀을 형성한다. 형성된 PMMA 또는 두꺼운 PR 틀 위에 Ni 전기도금을 행하면 seed layer가 노출된곳 위에만 선택적으로 Ni이 증착된다. 여기서 PMMA 또는 두꺼운 PR을 제거하면 Ni 금형이 제조되는 것이다. 얇은 금속판위에 제조된 Ni 금형을 무거운, 곡률반경이 큰 원통과 접합하면 금형이 최종적으로 제조된다.- 본 기술방법을 이용하여 제조 공정이 매우 단순하며, 생산성이 높고, 고정세화가 유리한 격벽 제조 공정을 확립할 수 있으며, 금형은 얇은(0.2∼0.8 ㎛) 스테인레스 기판이나 니켈기판 위에 LIGA(Lithographie, Galvanoformung, Abformung) 또는 UV-LIGA 공정을 이용하여 제조할 수 있음- 생산비 절감과 양산성 향상 뿐만 아니라 휘도, 고정세화등 품질 향상에도 기여하여 평판 디스플레이 시장에서 플라즈마 표시기가 액정 디스플레이와 전계 방출 디스플레이 기술보다 유리하게 됨