일반기술

스퍼터링용 타겟(2inch,4inch,6inch)

반도체 메모리 DRAM(dielectric random access memory)에 응용이 되는 3성분계로 구성된 PZT(PbZr1-xTixO3)타겟은 최근 MEMS 기술의 급속성장과 더불어 수요가 더욱더 증가하고 있다. 세라믹 타겟을 이용한 PZT박막은 압전성, 강유전성, 광학적, SAW filter특성을 동시에 가지는 물질로서 응용되고 있으며, 특히 스퍼터링 증착은 타겟의 조성과 같게 박막조성을 그대로 증착할 수 있는 것과 deposition rate가 높고, 넓은 면적에 증착이 가능하며, 기판온도가 낮은 장점을 이용하기 때문에 생산성 증대와 단가절감의 큰 효과를 가진다.현재 PZT 타겟은 순도 99.9%로 2 inch와 4 inch가 범용으로 사용하고 있으며, 6 inch는 자체개발이 없으며, 수요는 대부분 수입에 의존하고 있는 실정이다. 또한 타겟 가격이 고가이며, 수입 타겟으로 증착된 메모리는 경제성을 고려할 때 단가상승을 초래한다. 수입 타겟과 개발될 타겟(6 inch)의 특성평가를 동등하게 하여 국산화하므로서 메모리소자 제작시 국가적 차원에서 경쟁력이 확보되는 효과를 기대할 수 있다.현재 PZT 타겟은 순도 99.9%로 2 inch와 4 inch가 범용으로 사용하고 있으며, 6 inch는 자체개발이 없으며, 수요는 대부분 수입에 의존하고 있는 실정이다. 또한 타겟 가격이 고가이며, 수입 타겟으로 증착된 메모리는 경제성을 고려할 때 단가상승을 초래한다. 수입 타겟과 개발될 타겟(6 inch)의 특성평가를 동등하게 하여 국산화하므로서 메모리소자 제작시 국가적 차원에서 경쟁력이 확보되는 효과를 기대할 수 있다.