일반기술

감열식 공기 유량 센서

정방향뿐만 아니라 역방향으로 흐르는 공기의 유량을 측정할 수 있는 감열식 공기 유량 센서이다. 이 센서는 평판 하부면을 개구로 하는 식각홀 위에 형성된 다이어프램 형태의 절연막이 있고, 이 다이어프램 내부에 1개의 마이크로 히터와 2개의 측온 저항을 갖는 센서부가 있다. 높은 강성과 빠른 응답성을 갖도록 설계된 다이어프램과 측온 저항은 외부의 기계적 충격을 충분히 견딜 수 있으면서, 급격히 변하는 유체의 속도를 감지 할 수 있다.감열식 공기 유량 센서는 다이어프램의 높은 강성과 유량 변화에 대한 빠른 응답성을 갖는 제품으로서, 기존 높은 강성만을 갖는 다이어프램식 공기 유량 센서와 빠른 응답성만을 갖는 브릿지식 공기 유량 센서의 단점을 해결하였다. 최적화된 다이어프램과 측온 저항은 감열식 공기 유량 센서가 기계적 신뢰성과 최소 측정오차 그리고 저소비전력의 특성을 갖도록 한다.높은 강성과 빠른 응답성을 갖도록 설계된 다이어프램과 측온 저항은 외부의 기계적 충격을 충분히 견딜 수 있으면서, 급격히 변하는 유체의 속도를 감지 할 수 있다.