일반기술

마이크로 캐비티 상에 형성한 다중가스 검지용 단일 칩 가스센서

다중가스 검지용 단일 칩 가스 센서는 마이크로 캐비티 위에 형성된 브릿지 형태의 절연막에, 한개의 히터와 여러개의 감지부로 이루어진다. 각기 다른 감지물질이 도포된 감지부는 가스에 대해 각각 다른 반응하며, 각 가스들에 대한 반응들을 데이터 베이스화 할 경우 감지부의 개수 보다 많은 가스를 검출 할 수 있으며. 또한 동시 다발적으로 발생하는 여러 가스를 한번에 검출 할 수 있다.최적 구동으로 빠른 응답속도와 저소비전력의 우수한 특성을 갖는다.다중가스 검지용 단일 칩 가스 센서는 구조의 단순화를 이룬 제품으로서 기존의 다중가스센서가 다수의 히터와 다수의 감지부로 구성되어 복잡한 구조를 갖는 단점을 해결하였다. 이로 인하여 공정의 단순화와 제품의 최소화를 이룰 수 있으며, 양산성을 확보하고 가격 경쟁력을 갖는다. 또한, 최적 구동으로 빠른 응답속도와 저소비전력의 우수한 특성을 갖는다. 각 가스들에 대한 반응들을 데이터 베이스화 할 경우 감지부의 개수 보다 많은 가스를 검출 할 수 있으며. 또한 동시 다발적으로 발생하는 여러 가스를 한번에 검출 할 수 있다.