일반기술

다공성 쳄버를 이용한 유해가스처리장치

반도체 공정중에 발생하는 독성 유해 가스처리장치로서 다공성쳄버를 사용하여 내면의 오염을 감소시키고 heatingelements 를 사용하여 유입되는 가스를 burining 시켜일차적으로처리하고 부산물을 wet 방식을 사용하여 가스의 처리 효율을증가시킴..사용하는 고객에 따라 쳄버를 cooling 하는 것을 water 나 water 를 사용하지않고 blower 를 사용하여 제품을 제작일본시장에 효과적으로 대응하고..기존 시장에 형성되어잇는type은 잦은 고장과 2차 wet 처리 방식에서 오는 문제점으로인해 잦은 a/s 로 인해 새로운 개념의 처리방식이 요구되고잇으며,다만 시장형성과 진입에 따른 marketing 등의 문제만 근본적으로해결돼면 반도체 가스를 저 비용으로 효과적으로 처리할수잇음...일본은 폐수문제로 인해 기존의 water 를 사용하여 처리하는방식에서 탈피하여 blower 를 사용하여 cooling 을 하는 방식으로 전환하고잇는 상황임..다공성쳄버내부에 미세 가공을 형성시켜 공기를 주입 쳄버내부로유입되는 유해가스와분리 시켜 내부벽면의 오염을 최소화하고기존 burining type으로 가스를 처리하는방식..=============================반도체 공정중에 발생하는 독성 유해 가스처리장치로서 다공성쳄버를 사용하여 내면의 오염을 감소시키고 heatingelements 를 사용하여 유입되는 가스를 burining 시켜일차적으로처리하고 부산물을 wet 방식을 사용하여 가스의 처리 효율을증가시킴..사용하는 고객에 따라 쳄버를 cooling 하는 것을 water 나 water 를 사용하지않고 blower 를 사용하여 제품을 제작일본시장에 효과적으로 대응하고..기존 시장에 형성되어잇는type은 잦은 고장과 2차 wet 처리 방식에서 오는 문제점으로인해 잦은 a/s 로 인해 새로운 개념의 처리방식이 요구되고잇으며,다만 시장형성과 진입에 따른 marketing 등의 문제만 근본적으로해결돼면 반도체 가스를 저 비용으로 효과적으로 처리할수잇음...