일반기술
가변성 이산화탄소 상변화 노즐 및 노즐을 이용한 표면 세척장치
본 기술은 기존의 표면 세척법과 기존의 드라이 아이스 눈 입자 세척법의 단점(표면 손상 증대, 세척장치의 복잡성, 2차 폐기물 대량 발생)을 극복하기 위하여, 개선된 드라이 아이스 눈 입자 세척 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 기술은 이산화탄소용 고압 용기와 고압 호스와 가변성 이산화탄소 상변화 노즐 및 열풍기로 구성된다. 용기속에 들어 있는 고압(약 50bar)의 액체 이산화탄소가 호스를 지나서 노즐을 통과하여 교축과정(Throttling Process)을 겪으면, 작은 드라이 아이스 눈 입자가 생성되고, 고속의 기체 및 액체 이산화탄소가 발생한다. 생성된 드라이 아이스 눈 입자 또는 액체 이산화탄소와 기체 이산화탄소가 제품 표면위에 흡착되어 있는 미세 입자와 유기성 오염물을 제거한다. 제거 과정중 제품 표면에 발생하는 드라이 아이스 얼음막은 열풍기를 사용하여 제거된다.- 본 기술에서는 다양한 크기와 분포를 갖는 드라이 아이스 눈(Snow)입자를 얻기 위해 노즐을 제작하였고, 드라이 아이스 눈 형성공간의 부피를 조절하면, 드라이 아이스 눈 입자의 크기가 변하며, 이를 이용하여 다양한 표면 오염물을 효과적으로 제거할 수 있음- 본 기술의 열풍기를 이용하여 드라이 아이스의 승화열을 지속적으로 공급하여, 제품 표면에 얼음막이 형성되지 않아, 세척 효율을 극대화시킬 수 있고, 대기중의 습기 응축도 발생하지 않음- 세척시에 기술적으로나 경제적으로 제작하기 어려운 격리 공간을 필요로 하지 않고, 간단하게 효과적으로 세척이 가능함
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-05-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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