일반기술
광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
본 발명은 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 LIGA 공정과 열처리 공정을 이용하여 마이크로 렌즈 등의 구조물이 있는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법에 관한 것이다.본 발명은 방사광가속기의 X-선 1차 노광과 현상, X-선 2차 노광 그리고 열처리의 방법으로 마이크로 렌즈 등의 특정한 구조물이 있는 광학용 초소형 구조물 어레이 형태를 구현하고, 이를 바탕으로 전기도금을 통해 초정밀 금형을 제작하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 유지 보전 기술
- 보유기관
- (재)포항산업과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-04-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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