일반기술

변형된 LIGA 공정을 이용한 미세 U형 골 구조물 제조방법

본 발명은 미세 U형 골 구조물의 제조방법에 관한 것으로서 더 상세하게는 방사광 X-선을 이용하여 2번의 X-선 경사노광과 현상공정으로 기본적인 골 구조물을 만든 후, 한ㅂㄴ의 X-선 노광을 더 한 뒤, 열처리를 하여 미세 U형 골 구조물 성형틀을 만들고, 상기 미세 U형 골 구조물 성형틀위에 성형물을 굳혀서 미세 U형 골 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다.본 발명을 통해 아직까지 보고되지 않은 미세 U형 골구조물 제조방법을 제공함으로서 삼각 산맥형태보다 항력 감소효과가 더 좋다고 알려진 U형 골구조물의 제조가 가능케 되었다. 또한 본 발명의 제조과정에서 생성된 미세 U형 골구조물 성형틀을 이용하면 쉽게 대량의 미세 U형 골구조물을 얻을 수 있다.또한 본 발명의 제조과정에서 생성된 미세 U형 골구조물 성형틀에 PDMS와 같은 유연한 중합체(polymer)를 이용하여 골구조물을 만들면 평평한 부분뿐 아니라, 곡면에도 붙일 수 있어 그 적용범위가 더 넓어지게 되며, PDMS와 같은 투명한 중합체(polymer)를 재료로 사용하면 실제로 적용하였을 때 본 물체의 표면상태 를 관찰할 수 있는 효과가 있다 본 발명에 의하면 유연한 미세 U형 리블렛의 대량생산이 가능하게 된다.본 발명의 미세 U형 골 구조물 제조방법은 (가) 실리콘기판(10)위에 PMMA판(40)를 접합하여 PMMA판(40)를 접합한 기판을 만드는 단계와, (나) X-선 노광시 상기 PMMA판(40)를 접합한 기판위에 밀착시킬 X-선 마스크를 만드는 단계와, (다) 상기 X-선 마스크를 상기 PMMA판(40)이 접합된 기판위에 밀착시키고 2번의 X-선 경사노광과 현상공정을 함으로써 PMMA 구조물을 만드는 단계와, (라) 상기 PMMA 구조물의 윗부분을 X-선 수직노광한 후 열처리를 함으로서, 미세 U형 골구조물 성형틀을 만드는 단계 및 (마) 상기 미세 U형 골구조물 성형틀에 성형물을 부은 후, 굳혀서 미세 U형 골 구조물을 만드는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.