일반기술

세포 계수장치 및 그 제조방법

본 발명은 세포 계수장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 마이크로 전자 기계 장치(MEMS, Micro Electro Mechanical System, 이하 'MEMS'라 칭한다) 공정에 의한 모세관(capillary), 저장부(reservoir), 세포 감지부를 포함하는 초소형 세포 계수장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 한편, 본 발명은 세포를 포함한 액체를 이송시키면서 세포가 생물학적으로 살아있는지 죽어있는지를 판별하고 각각 계수할 수 있도록 된 세포 계수장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 또 다른 한편, 본 발명은 MEMS 기술을 이용하여 제조공정을 간단히 하고 그 크기를 소형화함은 물론 조사된 빛에 반응하는 보론의 전기저항검출기를 이용해서 살아있는 세포와 죽어있는 세포에 대한 신속한 계수 결과를 제공할 수 있도록 한 세포 계수장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 세포 계수장치는 MEMS 공정을 사용하여 일체화되고 소형화되어 고가의 기존 대형 세포 계수기를 대체할 수 있다. 또한, 세포 감지부로서 빛에 반응하는 전기저항 검출기를 이용하여 살아있는 세포와 죽어있는 세포의 수를 신속하면서도 정확하게 차별 계수하는 기능을 제공함으로써 기존의 복잡한 생화학적 차별 계수 방법을 대신할 수 있다.본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상기와 같은 단점들을 해결하기 위하여, MEMS 공정에 의한 모세관, 저장부, 세포 감지부를 포함하는 초소형 세포 계수장치 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다. 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 세포를 포함한 액체를 이송시키면서 세포가 생물학적으로 살아있는지 죽어있는지를 판별하고 각각 계수할 수 있도록 된 세포 계수장치 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다. 본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, MEMS 기술을 이용하여 제조공정을 간단히 하고 그 크기를 소형화함은 물론 조사된 빛에 반응하는 보론의 전기저항검출기를 이용해서 살아있는 세포와 죽어있는 세포에 대한 신속한 계수결과를 제공할 수 있도록 한 세포 계수장치 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다. 본 발명은 상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 세포를 염색하고 조사된 빛의 투과량에 따라 세포를 계수하는 세포 계수장치에 있어서, 실리콘 기판 위에 형성되고 상기 계수하고자 하는 세포가 포함된 액체가 이동하는 통로인 모세관; 상기 모세관 일단에 형성되고 상기 모세관에 주입되는 세포가 포함된 액체가 저장되는 주입세포 저장부; 상기 모세관 타단에 형성되고 상기 모세관에서 유출되는 세포가 포함된 액체가 저장되는 유출세포 저장부; 및 상기 실리콘 기판 내에 형성되고 상기 모세관의 소정의 부위 하부에 위치하며 상기 모세관을 이동하는 세포의 염색 정도에 따라 투과되는 빛의 투과량에 따라 변화되는 저항을 측정함으로써 세포의 개수를 감지하는 세포 감지부를 포함하고, 상기 모세관, 주입세포 저장부, 유출세포 저장부 및 세포 감지부는 MEMS 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치를 제공한다.