일반기술

열영상 검출용 초전소자 및 그 제조방법

본 발명은 알루미늄기판 상에 양극산화법에 의해 열차폐층인 알루미나층이 형성되고, 알루미나층 상에 하부전극과 펄스레이저증착법에 의해 PSN-PZT계 초전층 및 상부전극이 형성된 열영상 검출용 초전소자를 개시한다.따라서, 본 발명은 저가의 알루미늄 기판을 사용하고 또한 비용이 적게 소요되는 양극산화법에 의해 알루미나층을 제조하므로 제조비용의 절감을 이룩할 수 있다. 또한, 알루미나층은 알루미늄기판과의 결합상태가 양호하고, 열용량이 작으며 알루미늄기판과의 열적 고립이 양호하여 열영상 검출용 초전소자의 검지능이 우수하고, 초전소자의 주된 오동작 원인인 열적 잡음(thermal noise)이 적다.그리고, 초전층이 펄스레이저증착법에 의해 증착되므로 초전소자의 검지특성과 응답성이 우수하고, 알루미늄기판의 후면 중앙부가 경사 식각되어 소자의 열적 고립이 가능하므로 열적 잡음에 대한 영향이 줄어들고 열적 특성이 향상된다.본 발명에 의하면, 알루미늄기판 상에 양극산화법에 의해 열차폐층인 알루미나층이 형성되고 알루미나층 상에 펄스레이저증착법에 의해 초전층이 형성된다. 따라서 본 발명은 저가의 알루미늄 기판을 사용하고 또한 비용이 적게 소요되는 양극산화법에 의해 알루미나층을 제조하므로 제조비용의 절감을 이룩할 수 있다.