일반기술

유기발광소자 제조용 박막증착장치 및 증착공정

본 발명은 유기발광소자 제조용 박막 증착장치와 증착공정에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기발광 물질을 용매에 용해시켜 만든 유기물 용액과 전극 형성용 금속재료를 사용하여 증기응축과 진공기화를 동일 챔버(chamber)내에서 진행시켜 기판의 특정 부분에 다층 박막을 형성시킬 수 있도록 하는 유기발광소자 제조용 박막증착장치와 증착공정에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은, 유기발광물질과 금속 전극재료의 증기응축 및 진공기화를 위한 챔버를 제작하며, 제작된 챔버 내에서 유기발광물질의 증기응축과 금속 전극의 진공기화를 진행하게 된다. 이 모든 과정이 동일 챔버 안에서 효율적으로 이루어짐으로써 유기발광물질의 증기응축 후 공기에의 노출시 발생되는 유기박막의 산화를 방지할 수 있다. 또한 유기 발광물질을 증기응축을 통해 균일하게 증착시켜 기존 기술의 한계인 두께 불균일성으로 야기되어지는 유기발광조사의 밝기문제를 해결하기 위한 것이다.- 유기물 용액을 증기응축법로 박막 코팅한 후 연이어 금속전극의 진공기화 증착을 진행시키고 이때, 증기응축 및 진공기화 증착을 같은 진공 챔버 안에서 효과적으로 수행하는 기술- 증기응축 공정 시 기판을 가열함으로써 용매를 기체상태로 유지하는 기술- 주입 노즐의 형태와 운반기체의 유속을 조절하는 기술