일반기술

패릴린박막 증착장치, 유기발광소자 제조방법 및 유기 발광소자

패릴린박막 증착장치, 유기발광소자 제조방법 및 유기발광소자가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 패릴린박막 증착장치는, 공정챔버, 상기 공정챔버 상측부에서 내부로 연장 연결되고 단부에 분사노즐이 설치됨으로써 상기 공정챔버 내부로 승화된 패릴린을 공급할 수 있는 가스공급라인, 상기 공정챔버 하측부에서 내부로 연장되어 상하이동 및 회전운동이 가능한 이동축, 상기 이동축 단부에 연결되어 기판을 고정하며, 상기 기판을 냉각시키기 위한 냉각수단이 구비된 서셉터 및 상기 공정챔버의 내부압력을 조절하는 배기라인을 구비하여 이루어지며, 본 발명에 따른 유기발광소자 제조방법은, 유기발광소자 제조용 기판 상에 하부전극을 형성하는단계, 상기 하부전극 상에 패릴린 층간절연막을 형성하는 단계, 상기 패릴린 층간절연막 상에 발광물질막을 형성하는 단계, 상기 발광물질막 상에 상부전극을 형성하는 단계 및 상기 상부전극 상에 패릴린 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지며, 본 발명에 따른 유기발광소자에 층간절연락 및 보호막으로 패릴린막이 구비된 것을 특징으로 한다. 따라서, 유기발광소자의 누화현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.패릴린박막 증착장치는, 공정챔버; 상기 공정챔버 상측부에서 내부로 연장 연결되고 단부에 분사노즐이 설치됨으로써 상기 공정챔버 내부로 승화된 패릴린을 공급할 수 있는 가스공급라인; 상기 공정 챔버 하측부에서 내부로 연장되어 상하이동 및 회전운동이 가능한 이동축; 상기 이동축 단부에 연결되어 기판을 고정하며, 상기 기판을 냉각시키기 위한 냉각수단이 구비된 서셉터; 및 상기 공정챔버의 내부압력을 조절하는 배기라인;을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다