일반기술

펠티어 검침을 이용한 진공 게이지

열전도형 진공 게이지에 관한 것으로, 특히 펠티어 검침을 이용한 진공 게이지에 관한 것이다. 본 발명에 의한 펠티어 검침을 이용한 진공 게이지는 진공 용기의 진공도를 측정하는 장치에 있어서, 열 발생 패턴 신호를 발생시키기 위한 신호 발생기; 상기 신호 발생기에 연결되어, 전류를 측정하기 위한 전류계; 상기 전류계에 연결된 상이한 전도선의 접합으로 이루어지고, 상기 전도선의 접합 부분은 상기 진공 용기의 내부로 삽입되는 펠티어 검침 형태로 구성된 브리지 회로; 및 상기 브리지 회로의 대칭점의 양 단자에 연결되어, 상기 펠티어 검침에 의하여 검출되는 신호의 온도 진동에 의한 전압을 증폭하여 진공 용기의 진공도를 검출하기 위한 고정 주파수 증폭기를 포함함을 특징으로 한다.본 발명에 의한 열전도형 진공 게이지는 펠티어 효과를 이용하여1) 구조가 간단하고2) 넓은 진공 영역에서 고감도로 작동하며3) 필요에 따라 초소형으로 사용 가능한 새로운 개념의 열전도형 진공 게이지로서 진공도 측정의 분해능을 향상시키고, 필요에 따라서는 국소 진공 측정이나 빠른 진공 측정에 적합하다는 등의 효과를 가진다.