일반기술
X-선 노광을 이용한 구조물 제조방법
본 발명은 X-선 노광을 이용한 구조물 제조방법에 관한 것으로, 마이크로렌즈를 제조할 수 있는 방법에 대해 개시한다. 감광재에 마이크로렌즈 패턴을 정의하는 X-선 마스크를 이용하여 X-선 노광공정을 진행하고, 열처리를 실시하여 X-선에 의해 노광된 감광재만을 비노광된 부분에 대해 선택적으로 표면을 녹여 변형시켜 마이크로렌즈를 제조한다. 본 발명은 종래 기술에 비해 X-선 노광공정을 1번으로 단축할 수 있고 현상공정을 생략할 수 있어 전체 제조공정수를 줄일 수 있다. 게다가, 본 발명은 마이크로렌즈용 금형틀을 제조하고 사출성형 또는 핫 엠보싱 공정으로 동일한 형태를 갖는 마이크로렌즈를 여러개 제작할 수도 있기 때문에 마이크로렌즈의 대량생산이 가능하다..
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 유지 보전 기술
- 보유기관
- (재)포항산업과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-04-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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