일반기술

광 조사를 이용한 금 식각 방법 및 이를 위한 장치

본 발명은 금 식각법에 관한 것으로서 염소를 포함한 액상 물질 속에 금을 넣고 그 표면을 빛(자외선)으로 조사함으로써 금을 식각시키는 기술과 이를 이용하는 패터닝 기술에 관한 것이다. 본 발명은 광 조사를 이용한 금 식각 방법에 관한 것으로서, 간단한 장치와 인체나 환경에 유해성이 없는 화학 물질을 사용하고 공정을 단순화한 금 식각 방법과 그에 사용되는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 달성하기 위한 금 식각용 장치는 일 벽면에 광 투과창이 형성되고 염소 함유 유체가 충전된 용기와, 상기 용기 내에 시편을 장착하기 위한 시편 장착부와, 상기 용기의 외부에 마련되고 상기 광 투과창을 향하여 광을 조사하는 광원을 포함한다. 이와 같은 장치에서 금 또는 금 박막이 표면에 형성된 기판과 같은 시편에 광을 조사하여 금 식각을 행하게 된다. 기존 기술에서 인체나 환경에 해로운 화학물질을 사용하거나 고가이면서 운영이 불편한 진공공정을 이용하는데 반하여 본 발명은 크게 유해하거나 유독하지 않은 화학 액상물질과 자외선을 이용하며 특히 패터닝을 위한 부수적 공정과정이 없는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 목적은 전술된 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 간단한 장치와 인체나 환경에 유해성이 없는 화학 물질을 사용하는 금 식각 방법과 그에 사용되는 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 공정을 단순화하여 생산성을 향상시키고 제조 단가를 감소시킬 수 있는 금 식각 방법과 그에 사용되는 장치를 제공하는 것이다.