일반기술

이온-플라즈마 설비 NNB-6, 6-I4[1.494]

동 설비는 다층의 광범위한 제품(tool) - 내화물 금속 (질소화물, 카바이드, 탄소질화물, 산화물, 붕소화물)의 여러 다른 합성을 기초로 한 합성 코팅을 포함한 -에 적용하기 위해 설계되었다. 동 설비의 작동 원리는 진공 상태의 회로 기판 위에 물리적 증기 침전(PVD) 물질 기법을 사용한 것이다. 티타늄은 전기-아크 농축기에서 음극 물질로 가장 자주 사용되는 물질이다. 또한 몰리브덴, 덩스텐, 지르코늄, 크롬, 니오브, 흑연 그리고 그 외 다른 물질들도 음극 물질로 사용 할 수 있다. 질소를 포함한 여러 가지 가스는 반응 가스로 사용되어질수 있다. 시스템의 오리지널 디자인은(농축기 프라즈마 유동 자석의 초점 집중, 고전압 동력 공급 전압의 stepless 제한, 또한 설비 테이블 드라이브의 고도로 정밀한 정렬) 생산 최대량을 포함하여 고품질 코팅 구성의 기술적 모드를 결정하게 한다. 동 설비는 작동이 간단하며 용이하다.설비의 주요 유니트는 전기 아크 농축기, 즉 음극 표면에서 물질 농축기는 '음극 스팟' 내 전기 아크 에너지의 고 농축을 가능하게 하는 전기 아크 농축기이다. 고온에 도달되면 텅스텐과 흑연을 포함한 대부분의 내화물질의 탈수가 가능해 진다. 제품 표면의 예비처리(클리닝, 활성화, 가열)는 이온과 비활성 가스의 높은 에너지 흐름이라는 결과를 가져오며, 최적의 구조와 좋은 표면 부착력을 가져다 주는 고품질 코팅의 형성을 일으키는 조건인 백열의 프라즈마 방전에서 물질의 부착을 가져다 준다.