일반기술

공기 중 오존 최대 허용농축량 조절위한 반도체 센서와 센서마이크로 시스템[Form3]

금속 산화물을 베이스로 한 본 센서는 가연성 액체의 증기와 유독성, 폭발성 가스를 분석하고 표시하는 가스 분석기와 가스 표시기의 생산을 위해 널리 사용되고 있다. 작동 원리는 가열된 금속 산화물의 표면 위에 있는 공기 중 산소를 원자 형태로 변환하는 것과, 용적에서 추출된 전자의 흡착작용, 표면의 저항 증가로 작동되어진다. 혼합 가스의 감소는 흡착된 산소 이온의 표면 충전을 감소시키고, 추출 상태에서 그 전자에 상응하는 부분을 방출시킨다. 표면 저항은 감소되어진다. 화동 층은 산화 가스-오존의 기록을 위해 활용된다.반응 속도 센서는 소형의 용적을 가진다. 이것은 생산 시 매우 경제적이다. 공기 중 오존의 최대 허용 농축량을 조절하기 위한 반도체 센서와 센서 마이크로 시스템의 원리는 공기 중 오존 탐지를 위한 센서 개발에도 사용되어진다. 이와 같은 경우 혼합물 내 표면 저항의 감소는 표면 저항의 증가로 변화되어진다. 공기 중 오존 혼합물의 존재는 표면층 위의 산소 원자의 형태로 있게된다. 그러므로, 동일한 온도에서 산소 이온에 의해 보다 큰 충전이 이루어진다.