일반기술

티탄제 초고진공(超高眞空) 장치

본 기술은 기존 초고진공(超高眞空)에 있어서의 문제점의 하나로 지적되는 구조재료 가스방출을 해결하기 위한 것에 있다. 본 기술은 티탄늄이 일정한 영역에서의 가스 방출이 지극히 적은 특성을 가지므로 그 때문에 단시간으로 목표압력에 도달할 수 있다. 이러한 기술은 배기량의 작은 진공 펌프라도 티탄늄제 챔버를 쓸 수 있을 경우도 있다. 한편, 본 기술을 이용하면 기존의 제품과는 달리 거의 절반의 시간에 초고진공 상태에 도달 할 수 있다. 또한, 저배기량의 펌프에도 충분히 사용될 수 있다.1. 종래의 절반의 시간으로 초고진공 실현 :본 기술은 기존 제품과 비교하여 초진공성을 실험한 결과 거의 절반의 시간으로 초고진공 상태(10-8Pa이하)를 만들어 낸다는 것을 특징으로 한다.2. 저배기량의 펌프 이용 가능본 기술은 기존 제품과는 달리 저배기량의 펌프를 이용할 수 있기 때문에 운영비용을 절감할 수 있는 특징을 가지고 있다.3. 각종 진공 상태에 대응 가능본 기술은 초고진공 및 극진공 상태로 용이하게 도달할 수 있는 특징이 있다.4. 경량 및 고내식성본 기술은 초고진공 챔버를 티탄을 이용하여 제작하기 때문에 경량화를 꾀할 수 있으며, 고내식성을 가지는 것을 특징으로 한다.