일반기술

진공관 클린반송 시스템

종래, 깨끗한 환경이 유지되는 반도체 부품등의 반송 용기는 진공이기 때문에 전용 게이트벨브(뚜껑)을 갖추고 있다. 또한 접속하는 진공처리장치에도 똑깥은 전용 게이트벨브가 갖춰져 있고 더우기 용기와 장치를 접속시키기 위해 그 접속부에도 진공에 견딜수 잇는 장치가 필요했다. 이와 같은 구조상, 설비기기점수가 용기에도 장치에도 접속부에도 많아져 반송하는 부품의 크기와 비교해서 반송장치는 대단히 크고 무겁게 되어버렸기 때문에 장치의 취급이 무척이나 성가셨다.게다가 부대되는 반송로보트의 능력도 큰것이 필요하게 되었다. 그래서 용기나 장치에 2장의 씰플레이트를 내장한 게이트벨브를 설치함에 따라 접속부의 공간이 얼마 안되게 되고 단시간의 흡기,배기로 해결된다. 그 때문에 대기중의 부유물질에 닿지않으면서 진공상태가 유지되며 전용 게이트벨브가 1대로 끝나게 된다. 게이트 벨브의 삭감으로 장치 전체가 컴팩트하게 된다.크린반송장치 등은 반도체 제조장치용 관련장치에 분류되고 2001년 1조5천억엔 정도라고 하는 생산액의 일부라고 생각되고 본 발명의 참고 수자가 된다고 추정된다. 또한 본 장치는 반송용기와 제조장치가 독립하고 뚜껑을 덮는 구조여서 응용범위가 넓고 난노(극소)제조장치나 바이오칲 등 금후 진전이 기대되는 제조장치에의 응용도 될 수 있는 가능성이 높다고 생각되어진다.(참고자료 : [제조기술에 있어서 가공정밀도, 제조정밀도의 현상과 장래예측에 관한 조사연구] NEDO) 전자부품 관련은 물론이고 대기의 부유물을 피하고 싶다는 분야는 상기 난노. 바이오 등의 극소세계의 테마, 그리고 식품, 약품, 분체공학, 또는 정밀측정 프로세스가 포함된 장치 등 진공을 활용하는 곳이 넓어지는 것과 동시에 대상물의 진공역에 있어서 유통기구의 조직에는 보다 간소하고 게다가 싼 가격의 것이 요구되어진다.