일반기술

하전입자분광기(荷電粒子分光器)

정전편향형(靜電偏向型) 하전입자분광기(荷電粒子分光器)는 반원구상(半圓球狀)의 내측 편향전극(偏向電極) 그리드(격자;Grid)와 반원구상의 외측 편향전극간에 입사(入射)되는 하전입자(荷電粒子, 대상물에 전자빔이나 자외선을 비추어서 발생시킨다)를 정전편향(靜電偏向)시켜 출구슬릿(slit)상에서 하전입자빔의 초점을 묶는다. 이용 가능한 시장으로서는 반도체･환경･공해관련, 분석･재료관련, 연구기관등이 있다. 적용 용도는 원소분석, 원소의 상태분석등이 있고, 반도체의 원소분석용이 기본이지만 장래에는 부가가치가 높은 제품이 될 수 있다. 또 환경･공해관련에서는, 대기오염분석, 자동차배기가스관련, 수질오탁염분석관련이 주로서, 본 발명의 특징인 고에너지분해능(分解能) 등을 가지고 있어 유사 분광기와 비교해 구조가 간단하다는 점, 조제설정 및 유지보수등의 유지관리면에서 편리하다.본 발명은 반원구상의 외측 편향전극과 반원구상의 내측 편향전극 그리드, 그리고 이 내측 편향전극 그리드보다 더 내측에 배치된 입구슬릿및 출구슬릿, 또 내측 편향전극 그리드와 입구슬릿과의 사이에 배치된 제1의 각도제한 슬릿, 그리고 내측 편향전극 그리드와 출구슬릿과의 사이에 배치된 제2의 각도제한 슬릿 중에서 한쪽 또는 양쪽을 구비해 외측 편향전극과 내측 편향전극 그리드와의 사이에 전위차(電位差)를 만드는 방법으로 정전편향형 하전입자분광기의 입구슬릿을 통과하는 하전입자의 입사각도(入射角度)를 제1, 제2의 각도제한 슬릿 중의 한쪽 또는 양쪽에 의해 입사(入射)방향보다 입사각도를 ±40도의 범위로 제한한 것을 특징으로 한다. 그래서 간단한 구조와 강한 신호강도를 지속한 상태로 높은 에너지분해능(分解能)을 가지고 있다.