일반기술

가스센서소자의 제조 방법

반도체 가스센서를 만드는 방법으로 종래에는 세라믹 기판 위에 프린트, 소성하여 작성하거나, 세라믹 반도체를 블럭에 소성하여 센서를 제조하는 방법이 있다. 그러나 각각 비용이나 형상에 문제가 있어 저렴한 가격으로 대량생산할 수 있는 우수한 방법이 요구되어 왔다. 이 발명은 종래의 스퍼터링이나 실크스크린 인쇄에 의한 센서패턴의 형성에 대치되는 것으로 소위 전사실을 이용함으로써 박막상의 센서를 균일하게 대량으로 만들수 있는 방법을 제시하고 있다. 반도체 가스센서뿐만 아니라 동시에 필요로 하는 전극이나 히터, 소성 제거가능한 유기수지층 등도 각각 실에서 전사하여 쉽게 다층화시켜 세라믹 기판 위에 모양을 만들어 이것을 소성함으로써 센서소자를 만든 것이다. 전사실 자체가 어느 정도의 점성을 가진 재료라면 실크스크린 등으로 얇고 균일한 두께로 자유롭게 패턴을 콘트롤 할 수 있다. 반도체 가스센서는 2산화석을 사용한 것이 취센서등의 분석기구나 가스누출경보기 등의 센서로 널리 사용되고 있다.