일반기술

연마 하중을 일정하게 유지하여 공밀도 연마가 가능한 연마 장치

고 정밀도가 요구되는 연마에는 연마가공면에 하중을 일정하게 유지하면서 연마하지 않으면 안된다. 그러나 통상의 연마장치로는 피연마면의 미묘한 凸凹에 의해 하중의 변화를 검출하고,검출량을 피드백하면서 연마 하중을 증감 하는것은 매우 어려운 일이다. 따라서 피연마면에 부과되는 연마 하중이 장소에 따라 변동량이 발생하게 된다. 본기술은 피연마면의 미묘한 하중을 검출하여, 피연마재 유지대를 검출량에 맞게 미동하게 하므로써 연마 하중을 일정하게 유지 하는 기술이다.연마면의 凸凹에 의한 하중변화는 피연마 유지대,미소구동 테이블, 구체,연마하중 확대판(凸),압전소자,로드 셀의 순으로 전달된다.이러한 요소는 직렬로 배치 되어져 있다.로드셀에서 검출된 하중을 전압으로 변환하여,비교회로에 의해 비교되어진다. 측정된 전압차는 비례적분회로로 압전신호로 변환되어 전압차가 0이되게 아번소자에 보내짐. 압전소자는 신호에 의해 신축되어 신축량을 앞의 순서와 반대방향으로 피연마 유지대 까지 기계적으로 전달되어 우지대를 상하로 미동시켜 일정 하중을 확보하게 됨. 압전소자의 신축동작은 凸의 원리에 의해 확대되어 미소 구동 테이블에 대한 압력을 부과함. 본 기술은 나노 기술의 초정밀 연마가 가능하다.