일반기술

초미세입자 응축핵계수기

기존의 나노입자 개수 측정장치는 알콜계통의 증기를 이용하여 이 증기를 저온으로 낮추어 중기가 입자 주위에 응축되는 형상을 이용하여 입자의 개수를 측정하였다. 즉, 구름의 형성과정과 비슷한 방법을 이용하였다. 그러나 이 냉각과정이 열전도에 의해 이루어지므로 작동유체를 알콜계통에 한정할 수밖에 없으며, 샘플링 유량도 매우 작은 문제점이 있었다. 이러한 알콜유체는 반도체 공정상에 큰 영향을 주므로 클린룸내의 나노입자 계측에는 사용할 수 없다. 본 발명은 위에 언급한 작동유체(알콜)와 샘플링 유량의 한계를 극복할 수 있게 수증기와 모세관을 이용하여 저압으로 낮추면 수증기의 단열팽창에 의해 입자를 중심으로 수증기가 응축되어 물방울을 형성하게 된다. 따라서 이러한 모세관을 이용한 팽창방법을 사용하면 고유량으로 장치를 구성할 수 있는 특징이 있다.본 장치는 물을 이용하므로 반도체생산라인내의 나노입자 측정에 사용할 수 있다. 아울러 고유량으로 공기를 공기를 샘플링하므로 반도체 클린룸과 같이 입자의 농도가 낮은 곳에서는 그 성능이 더욱 뛰어나다.고유량으로 수증기를 이용하여 나노입자를 측정할 수 있다.【발명의 개시】본 발명의 목적은 공기에 부유된 초미세입자를 신속하고 용이하게 계수할 수 있는 초미세입자 응축핵계수기를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은 다양한 작동유체를 사용할 수 있으며 오염없이 청정상태가 반드시 유지되어야 하는 반도체 클린룸등에 적용할 수 있는 초미세입자 응축핵계수기를 제공함에 있다.본 발명의 또 다른 목적은 고유량으로 입자개수를 측정할 수 있는 초미세입자 응축핵계수기를 제공함에 있다. 상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로 본 발명에 따른 초미세입자 응축핵계수기는 작동유체가 수용되어 있는 저장풀과; 저장풀과 일체로 형성되어 있고, 내부에 작동유체와 맞닿아 작동유체를 흡수하는 흡수재가 부착되어 있으며, 외벽에는 작동유체를 증기로 포화시키는 가열장치가 설치되어 있는 포화기와; 포화기의 하류에 위치하며, 포화된 증기가 응축되어 입자의 성장이 일어나는 모세관과; 모세관의 출구에 인접하여 설치되어 성장된 입자를 계수하는 광학장치와; 모세관의 하류에 위치하며 성장된 입자를 흡입하는 흡입수단으로 이루어져 있다.