일반기술

적외선 감지형 박막 ＮＴＣ 서미스터의 제조방법

본 발명은 적외선 감지형 박막 NTC 서미스터의 제조방법에 관한 것으로, NTC 박막 및 전극을 포함한 적외선 감지부가 장착되는 기판으로서 실리콘 웨이퍼(실리콘 기판)의 상하 양면에 각각 SiO2/Si3N4/SiO2를 차례로 증착하여 이루어진 ONO 실리콘 웨이퍼를 사용하고, 적외선 감지부 위로 적외선 흡수층을 형성하여 제조함으로써, 웨이퍼 하면의 ONO층을 식각하여 형성한 창을 통해 실리콘을 완전히 식각, 제거할 수 있음으로 해서 웨이퍼 상면의 ONO층만으로 이루어진 완전 열적 고립형태의 멤브레인 구조를 형성할 수 있고, 결국 응답속도 및 감도 등에서 보다 향상된 적외선 감지특성은 물론 상기 적외선 흡수층의 소자 보호 역할에 의해 수명 연장 효과까지 제공할 수 있는 보다 개선된 적외선 감지형 박막 NTC 서미스터 제조방법에 관한 것이다.멤브레인 구조의 구현 및 흡수층증착을 통해 향상된 특성을 갖는 서미스터의 제조 가능, ONO wafer를 사용하여 실리콘 식각시 별도의 보호 마스크가 필요 없음【발명이 이루고자 하는 기술적 과제】따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, NTC 박막 및 전극을 포함한 적외선 감지부가 장착되는 기판으로서 실리콘 웨이퍼(실리콘 기판)의 상하 양면에 각각 SiO2/Si3N4/SiO2를 차례로 증착하여 이루어진 ONO 실리콘 웨이퍼를 사용하고, 적외선 감지부 위로 적외선 흡수층을 형성하여 제조함으로써, 웨이퍼 하면의 ONO층을 식각하여 형성한 창을 통해 실리콘을 완전히 식각, 제거할 수 있음으로 해서 웨이퍼 상면의 ONO층만으로 이루어진 완전 열적 고립형태의 멤브레인 구조를 형성할 수 있고, 결국 응답속도 및 감도 등에서 보다 향상된 적외선 감지특성은 물론 상기 적외선 흡수층의 소자 보호 역할에 의해 수명 연장 효과까지 제공할 수 있는 보다 개선된 적외선 감지형 박막 NTC 서미스터 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.