일반기술

유기금속 화학증착법에 의한 산화아연계 나노선의 제조방법 및 이로부터 제조된 나노선

본 기술은 유기금속 화학증착법에 의한 산화아연계 나노선의 제조방법에 관한 것으로서 본 발명에 따른 유기금속화학증착법에 의하면, 직경을 수 나노미터에서 수 마이크로미터의 넓은 범위까지 조절이 가능하며, 직경이 비교적 균일할 뿐 아니라 기재표면에 수직방향으로 잘 배향되며, 특히 나노선의 제조시 촉매를 사용하지 않기 때문에 촉매에 의한 오염을 방지할 수 있어 전기적, 광학적 성능이 우수한 산화아연계 나노선을 제조할 수 있다.본 발명의 유기금속 화학증착법을 이용한 나노선 제조방법에서는 금속촉매를 사용하지 않고 반응전구체들이 핵생성제로 바로 성장되기 때문에 촉매에 의한 오염을 미연에 방지할 수 있고 도핑조절이 용이할 뿐 아니라 저온증착과 같은 이점을 갖고 있기 때문에 종래의 방법보다 훨씬 전기적, 광학적 특성이 우수한 나노선을 대량으로 제조할 수 있다. 또한 나노선의 직경도 수 나노미터까지 작게 조절할 수 있으며 두께와 길이가 균일할 뿐만 아니라 기재에 수직한 방향으로 잘 배향되기 때문에 전기소자, 광소자, 환경에너지 관련소자와 같은 나노소자로 제작할 때 많이 장점이 있다