일반기술

고종횡비 팁을 갖는 압전 캔티레버 및 그 제조방법

현재의 캔티레버 팁은 그 높이가 낮아 캔비레버 자체가 정보저장 미디어에 영향을 줄수 있는 단점이 있다.본 기술은 캔티레버의 팁이 낮을 경우 빔 자체 또는 빔이 갖는 전압이 미디어에 영향을 미치는 것을 막기 위한 고종횡비의 팁을 제조함에 있어서 캔티레버의 팁과 지지부 상부에 응력 보정막을 추가하여 다층의 캔티레버 막을 형성함으로써 캔티레버 자체의 내부 응력을 보정하여 캔티레버가 휘어지는 것을 막을 수 있는 기술로서, 고종횡비 나노팁을 가진 압전 캔비레버를 만드는 기술이다.이러한 고종횡비 나노팁을 가진 압전 캔비레버는 AFM과 같은 표면 정밀도 측정이나, 나노 크기의 정보저장과 같은 나노 저장 매체에 사용가능한 기술이다.본 기술은 캔디레버의 팁과 지지부 상부에 응력 보정막을 추가하여 다층의 캔디레버 막을 형성함으써 캔디레버 막을 자체의 내부 응력을 보정하여 캔디레버가 휘어지는 것을 막을 수 있으며, 우리가 원하는 형태로의 빔의 굽힘을 실현할 수 있다. 또한 광투과 케이스가 지지부에 연결된 접합용 패턴에 접합되어 있기 때문에 양극접합을 이용한 캔디레버의 접합시 상/하부 전극과 케이스가 분리되어 케이스에 인가된 전압이 직접적으로 상/하부 전극과 압전물질에 전달되이 않게 된다. 이로 인해, 상/하부 전극 및 압전물질에 고전압이 걸려 위험을 막을 수 있고 살부 전극의 표면 산화 현상을 방지할 수 있다.