일반기술

광 픽업을 이용한 위치측정장치 및 방법

본 기술은 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 관한 것이다. 본 기술에 의한 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블은 테이블 베드의 상측에 이송스테이지가 결합되고, 테이블 베드의 측부에는 이송스테이지를 회전 및 직선이송하도록 엑추에이터가 결합된 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 있어서, 테이블 베드의 상측에는 이송스테이지의 위치이동을 감지하도록 발광부에서 나온 광을 받아 수광점의 위치를 측정하는 PSD(Position Sensitive Detector)광센서가 구비되어 구성된다.- 본 기술은 저가이며 외부요인의 영향을 받지 않으며 소형으로 배치가 용이한 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블임- 본 기술에 의한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블은 PSD 광센서를 이용함에 의해, 고가의 LVDT을 사용하지 않고도 엑추에이터의 오차를 측정함과 동시에 수렴하거나 초기화 작업에서 홈 포지션작업을 수행할 수 있음- 광센서는 비접촉식이므로 마모로 인한 측정오차가 생김을 방지할 수 있어 외부의 영향을 거의 받지 않으며, 외형의 크기가 작아 테이블안으로의 배치가 가능하여 테이블을 소형화 할 수 있음