일반기술

세라믹박막 제작용 고온 가열장치

본 기술은 진공증착 방법으로 세라믹 박막 제작 시에 사용되는 고온 가열 장치에 관한 것이다. 종래의 진공용 가열장치는 주로 저항발열체로 제작되고 있으며 발열체 단일 품목으로 외국에서 생산되고 있고, 위치조절 및 회전기능 등은 수요자가 별도로 제작하여야 한다. 즉, 발열체와 외부에서 전력을 공급하는 부분이 진공 중에서 접속되는 구조이므로 접속부분에 과다한 열이 발생되고 열 발산이 이루어지지 않아 접속부분이 쉽게 파손된다. 또한 가열하고자 하는 대상(기판)과 이러한 발열체는 진공 중에서 결합되므로 열 전달이 나쁘며 따라서 대상물체를 고온으로 가열할 때 발열체가 이상 발열하여 파손되는 경우도 빈번하다. 넓은 면적을 가열하는 저항식 발열체는 이러한 문제점을 해결하기 위해서는 부가적인 장치가 별도로 필요하게 되어 부피가 커지며 가격이 매우 높아진다. 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 개발한 것이다.1) 고가인 특수부품을 사용하지 않고 저가로 넓은 면적을 진공 중에서 고온으로 가열함. 2) 비접촉식으로 가열하여 공정시간을 단축함.3) 가열제를 위치조정 및 회전작동이 가능하도록 표준 플랜지에 일체화하여 수요자가 쉽게 사용할 수 있도록 함.4) 이러한 일체화 작동으로 넓은 면적에서 균일한 세라믹 박막을 제작할 수 있게 함.