일반기술

다층구조의 웨이퍼를 이용한 광 스위치

다층구조의 웨이퍼를 이용한 광 스위치에 관한 것이다.광통신을 위한 광도파로와, 상기 광도파로를 고정하는 고정부와, 상기 각 광도파로의 입출력포트간 광통신 방향을 변환하는 거울 및 상기 거울을 움직이는 구동수단이 실장된 구조층과, 상기 구조층 하단에 위치하며, 상대적으로 작은 면적으로 에칭되어 상기 구조층을 공중 부양하는 희생층과, 상기 희생층 하단에 위치하며, 상기 희생층 및 구조층을 지지하는 지지층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.이 때 상기 구조 층은 상기 고정부, 거울의 형태 및 거울을 움직이는 구동수단으로 에칭되어 식각되며, 대응하는 각 광도파로의 입력포트와 출력포트는 상호 약 3°~20°정도의 경사각으로 설치되는 것이 보다 바람직하다.본 발명에 따른 광 스위치에 의하면, 광스위치의 패키징에 곤란한 문제점과 주변온도에 따라 광특성 및 기계적 특성이 달라진다는 문제점을 안고 있는 굴절율 맞춤액을 사용하지 않고도 광도파로의 입출력 포트 사이의 광전송시 보다 낮은 광손실을 구현할 수 있는 특징이 있다.아울러, 지지층, 희생층 및 구조층으로 이루어진 웨이퍼를 사용함으로써, 입출력 광 스위칭 소자의 미세구동의 발현이 가능한 장점이 있다. 광통신을 위한 광도파로와, 상기 광도파로를 고정하는 고정부와, 상기 각 광도파로의 입출력포트간 광통신 방향을 변환하는 거울 및 상기 거울을 움직이는 구동수단이 실장된 구조층과, 상기 구조층 하단에 위치하며, 상대적으로 작은 면적으로 에칭되어 상기 구조층을 공중 부양하는 희생층과, 상기 희생층 하단에 위치하며, 상기 희생층 및 구조층을 지지하는 지지층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.