일반기술

고진공용 초고온 저항체 히터와 그 제조방법

본 발명은 고진공 시스템에서 가스등과 같은 불순물의 방출 없이 1500 ℃ 까지 발열이 가능한 초고온 저항히터 제조에 관한 기술이다. 종래의 고진공용 히터는 대부분 PBN/PG, 또는 실리코니트(SiC)로 제작되고 있다. 상기 PBN/PG 히터는 1800 ℃까지 가열할 수 있는 좋은 히터이지만 파손이 쉽게되며 산소가스와 같은 반응성 가스 분위기에서는 사용할 수 없는 단점이 있다. 또한 SiC 히터는 기계적으로 취약하며 판형으로 제작할 수 없는 단점이 있다. 이들 히터는 전량 외국에서 수입하므로 가격이 고가이다.본 발명에서 개발한 히터는 상기 PBN/PG 히터의 1/10 정도의 가격으로 제작 가능하다. 본 히터 제작에 사용하는 재료는 세라믹 박판, 인코넬 금속재료, 백금-로디움 합금선, 알루미나 접착제 등 4가지 종류이며, 이들 재료는 이미 상용화 된 것으로 쉽게 구할 수 있으며, 판형으로 제작이 가능하고 산소 가스는 물론 오존가스, 이산화질소와 같은 초강력 산화성 분위기 가스에서도 사용할 수 있는 장점이 있다.