일반기술

유기물 증발원 및 컨트롤러 기술

신청기술은 유기물증발원(Organic Effusion Cell) 및 컨트롤러 기술로, 유기물 증발원 및 컨트롤러 장치는 유기EL(Organic Electroluminescent) 제조시에 사용되는 Evaporation장치로서, 열복사선에 의해 유기물을 직접 가열로 박막표면의 균일성 및 재현성이 확보될 수 있도록 유기물층의 두께정밀제어 및 소스온도 등의 정밀제어 기술이 핵심으로 동사의 반도체 장비 엔지니어링기술, 초고진공기술을 활용하여 개발한 기술임. 이 기술은 현재 양산되고 있는 LCD, PDP제품이후 OLED라고 불리우는 차세대 디스플레이 소자인 유기EL을 박막표면에 균일하게 도포하는 것으로 동 기술을 활용하여 유기EL 양산라인 장비를 구성할 수가 있고 또한 유기반도체 기술에도 적극 활용 가능이 기술은 진공박막제조장비중의 하나인 유기물 진공 증착장비 중의 핵심부품인 유기물 진공증발원에 관한 것이고, 유기물 진공 증발원은 도가니에 들어 있는 유기물 소오스를 가열하여 대상 유기물질을 증발시켜 박막으로 만드는 장치이다. 기존의 진공증발원의 도가니 구조에서는 접촉에 의한 열전도방식으로 유기물을 가열하는 형태였으나, 이 제품은 열방사선을 직접 유기물에 입사시켜 가열시키는 방식을 채택하여 열전도도가 작은 유기물을 전체적으로 골고루 가열시켜 유기물의 증발율을 일정할 수 있게 되었다. 진공증발원에서 열복사선으로 상부 또는 유기물 상부 표면을 직접 가열시킴으로써 도가니의 온도분포를 윗부분이 높고 아래로 내려갈수록 온도가 낮아지도록 되어 있어 유기물이 고속으로 증발할 때 튀어 나가는 현상이 현격하게 줄어 들고, 대용량의 증발원 또는 대면적 유기물 증착용으로 사용이 가능.