일반기술

전자 가속장치가 필요없는 극자외선 현미경(EUV)

프라운호퍼 연구소에서 개발한 이 Nanoscope는 덩치가 크고, 가격 면에서 고가였던 기존의 장치에서 필요했던 전자 가속장치(Synchrotron Radiation Facilities)가 필요하지 않은 새로운 방식의, 매우 경제적인 EUV Radiation System이다. 특히, x-ray의 파장과 가까운 11-14 nm 범위의 파장을 레이저를 이용해 리소그래피(lithography)하는 공정에서 매우 유용하다. 또한, 다른 장치와 비교하여 이 Nanoscope는 노광공정을 진공상태에서 실행할 필요가 없고, 원자들의 구조와 그들의 특성에 대해 더 자세한 정보를 제공할 수 있다.이 장치의 특징으로 Object의 이미지를 캡처(Capture)하는데 단지 Single EUV pulse(10분의 1초)만을 필요로 한다는 것과, 50헤르츠(Herz)에서 필요한 이미지를 필름화할 수 있다는 것이다. 이미지의 캡처를 위해 CCD 카메라가 사용되었는데, detector의 픽셀크기는 현존하는 기기들이 이루지 못한 마이크로미터 이하의 최고의 해상도를 구현한다. 이 프로젝트를 위해 Extreme Ultraviloet(극자외선) Technology의 대표적 주자인 AIXUV Company와 프라운호퍼 IWS 연구소, 프라운호퍼 IOF 연구소 등이 참여했다.