일반기술

향상된 원자현미경 검사법

이 기술은 축음기의 바늘과 같이 한줄씩 읽어 내려가는 AFM(Atomic Force Microscopy)의 캔틸레버(cantilever)가 multi-tasking이 가능하도록 응용/디자인한 것이다. 이 multiple processing step이 가능해짐으로써 마이크로회로의 생산에 있어서 하나의 규소판(silicon wafer)위에 수백개의 캔틸레버를 생산할 수 있게 된다. 이 연구는 궁극적으로 음이온 가속을 이용한 에칭(IBE:Ion Beam Etching)과 atomic sand blasting에 맞춰지고 있다. 이 기술은 나노기술의 대표주자인 NanoWorld와 프라운호퍼 IISB 연구소가 함께 진행하고 있는 프로젝트다.보다 정확하고 정밀한 반도체 회로를 생산하기 위해서는 더욱 복잡한 품질관리공정이 필요하다. 컴포넌트의 구조와 결함을 검사하기 위해서 품질관리공정에서는 고해상도의 전자현미경을 사용하는데, 이러한 검사는 산란 단면적(cross-section)의 조사를 통해 이루어지므로 고가의 컴포넌트의 훼손이 불가피하다. 이 시스템은 이러한 훼손을 피하기 위해 개발된 기술로, 대기 중에서의 실험도 가능하며, 컴포넌트의 훼손과 파손을 막고, 보다 섬세한 검사/관찰이 가능하도록 한 AFM기술을 한층 응용/발전시킨 기술이라 할 수 있다.