일반기술
반도체용 저온CVD 및 Etching장비 제조기술
화합물반도체, 유기EL디스플레이, MEMS, 광전지 산업 등 여러 박막산업에서 기존의 고온에서 사용될 수 없는 새로운 재료들이 사용되기 시작하면서 훨씬 저온에서 양질의 박막을 증착할 수 있는 기술을 필요로 하게 되는데, 이러한 추세에 맞추어 100℃미만의 저온에서 양질의 박막제조가 가능한 증착장비를 제조할 수 있는 기술
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 복합설계·생산기반 기술
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-06-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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