일반기술

초정밀 다축 위치제어장치

초정밀 다축 위치제어 능력이 우수하고 잔류진동 및 외란을 보상할 수 있는 압전액츄에이터와 ,정전용량센서와. 초정밀 제어 알고리즘 프로그램에 의해 구동되는 초정밀 다축 위치제어 장치에 관한 것본 발명에 따른 초정밀 위치제어장치는 초정밀 다축 위치를 발생시키는 테이블과,테이블과 일체형이면서 테이블의 변위를 안내하기 위한 플렉셔와 플렉셔를 구동시키는 압축액츄에이터와 압전액츄에이터에서 발생된 변위를 감지하는 정전용량현센서와 정전용량센서에서 검출된 3자유도 위치 궤한신호를 A/D채널에서 입력받아 오차신호를 보정하여 다시 D/A채널로 출력하여 압전액츄에이터를 구동하여 3자유도 위치오차를 보정하는 중앙제어장치와 중앙컴퓨터를 구비한다.이러한 구성에 의하여 본 발명에 의한 초정밀 다축 위치제어장치는 정밀하게 테이블의 3자유도 변위를 제어함과 아울러 테이블의 잔류진동 및 외란을 보상할 수 있다.초정밀 다축 위치제어 능력이 우수하고 잔류진동 및 외란을 보상할 수 있는 압전액츄에이터와 ,정전용량센서와. 초정밀 제어 알고리즘 프로그램에 의해 구동되는 초정밀 다축 위치제어 장치에 관한 것본 발명에 따른 초정밀 위치제어장치는 초정밀 다축 위치를 발생시키는 테이블과,테이블과 일체형이면서 테이블의 변위를 안내하기 위한 플렉셔와 플렉셔를 구동시키는 압축액츄에이터와 압전액츄에이터에서 발생된 변위를 감지하는 정전용량현센서와 정전용량센서에서 검출된 3자유도 위치 궤한신호를 A/D채널에서 입력받아 오차신호를 보정하여 다시 D/A채널로 출력하여 압전액츄에이터를 구동하여 3자유도 위치오차를 보정하는 중앙제어장치와 중앙컴퓨터를 구비한다.이러한 구성에 의하여 본 발명에 의한 초정밀 다축 위치제어장치는 정밀하게 테이블의 3자유도 변위를 제어함과 아울러 테이블의 잔류진동 및 외란을 보상할 수 있다.