일반기술
광섬유 렌즈의 초점거리를 이용한 물질의 두께 측정장치및 그 방법
본 발명은 광섬유 렌즈의 초점거리를 이용한 물질의 두께 측정장치 및 그 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 광섬유 렌즈로부터 발산되는 빛이 물질에 초점될 때 초점거리에서 반사되어지는 빛의 세기를 이용하여 물질의 두께를 측정하도록 하는 기술에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 가우시안 형태의 빛을 발산하며 기판 상의 코팅된 물질의 표면에 가우시안 빛이 초점되도록 광섬유 렌즈를 PZT에 부착하여 수직하게 움직일 때 상기 광섬유 렌즈의 끝단에서 반사되어지는 빛의 양을 검출하고 이를 분석하여 물질의 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 광섬유 렌즈의 초점거리를 이용한 물질의 두께 측정 방법이 제시된다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 초소형 디바이스 (I81)
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-06-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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