일반기술

원판 구조를 갖는 2축 압전 자이로 장치 및 가진 검출회로

원판 구조를 갖는 2축 압전 자이로 장치 및 가진 검출회로에 대해 개시한다. 본 발명의 원판 구조를 갖는 2축 압전 자이로 장치 및 가진 검출회로는, 본 발명은 원판수직방향의 공진을 하고 있는 상태에서 외부회전이 원판 직경 방향으로 작용할 때, 원판 중심의 압전 소자에 작용하는 코리올리력에 의한 원판의 편향을 이용한 원판 구조를 갖는 2축 압전 자이로 장치 및 가진 검출회로에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 평면적이고, 간단한 구조를 갖기 때문에 마이크로 메카니즘 제작기술 등을 이용하여 저가격화 대량생산이 가능한 장점이 있다.본 발명의 목적은 자이로의 용도를 볼 때 손 떨림 검출장치와 같이 2축이상의 회전을 검출해야할 경우가 많으나 대분의 경우 1축자이로를 입체적으로 구성하여 사용하고 있다. 센서수요의 동향을 보면 1축에서 다축으로, 또 보다 소형, 극소형의 센서가 요구되고 있다. 특히 마이크로기계제작기술 나노기술을 이용하여 제작 가능한 센서가 주목되고 있는 데, 현재 실용화되어있는 삼각프리즘, 종형과 같은 입체적인 형상체다이어프램 구조는 MEMS기술로 제작이 용이하지 않고, 또한 다축으로 확장하기도 쉽지 않다. 반도체제작기술과 유사한 MEMS기술을 이용하기위해서는 평면적 구조의 다축센서가 절대적으로 유리하다.본 발명의 주목적은 평면적이고 간단한 구조를 가지면서, 2축회전이 검출 가능한 진동형자이로를 마이크로 메카니즘 기술 등을 이용하여 제작함으로서 저가격화 및 대량생산이 가능하도록 하는데 있다.본 발명에 따른 원판 구조를 갖는 2축 압전 자이로 장치 및 가진 검출회로는, 2축회전 검출이 가능한, 평면적이고 간단한 구조의 다이어프램상에 구현되기 때문에, 반도체 공정과 같은 마이크로 메카니즘기술(MEMS) 등 제작기술로 대량생산이 가능하여, 저가격, 고성능자이로의 실현이 가능하다.본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 많은 변형이 가능함은 명백할 것이다.