일반기술

코스퍼터링법을 이용한 박막형 연료전지용 전극의 제조방법

본 발명은 코스퍼터링법을 이용한 박막형 연료전지용 전극의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막형 연료전지용 전극을 제조하는데 있어서 기판 위에 둘 이상의 스퍼터링 건을 동시에 작동시키는 코스퍼터링법을 이용함으로써, 전극에 포함된 합금의 조성을 다양하게 변화시킬 수 있을 뿐만 아니라 전극의 구조가 조밀하지 않도록 제어할 수 있으며, 이에 의하여 종래 증착법 또는 스퍼터링법으로는 구현하기 어려웠던 연료전지의 소형화, 집적화에 유용한 우수한 전기화학적 물성을 갖는 전극을 제조할 수 있는 박막형 연료전지용 적극의 제조방법에 관한 것이다.박막형 연료전지용 전극의 제조방법에 있어서 기판 위에 둘 이상의 스퍼터링 건을 동시에 작동시켜 박막형 연료전지용 전극을 제조하는 방법을 그 특징으로 한다.본 발명은 코스퍼터링법을 이용한 박막형 연료전지용 전극의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막형 연료전지용 전극을 제조하는데 있어서 기판 위에 둘 이상의 스퍼터링 건을 동시에 작동시키는 코스퍼터링법을 이용함으로써, 전극에 포함된 합금의 조성을 다양하게 변화시킬 수 있을 뿐만 아니라 전극의 구조가 조밀하지 않도록 제어할 수 있으며, 이에 의하여 종래 증착법 또는 스퍼터링법으로는 구현하기 어려웠던 연료전지의 소형화, 집적화에 유용한 우수한 전기화학적 물성을 갖는 전극을 제조할 수 있는 박막형 연료전지용 적극의 제조방법에 관한 것이다.박막형 연료전지용 전극의 제조방법에 있어서 기판 위에 둘 이상의 스퍼터링 건을 동시에 작동시켜 박막형 연료전지용 전극을 제조하는 방법을 그 특징으로 한다.