일반기술

감광제를 이용한 광섬유 고정 정렬 장치의 제조 방법

본 발명은 미소 광 소자와 광섬유의 고정 정렬장치 제조방법에 관한 것으로, 특히 마이크로 전자기계 시스템(MEMS) 기술을 이용하여 감광제로 정렬 고정장치를 만들어 미소 광 소자와 광섬유의 정렬과 고정, 그리고 결합을 용이하게 하도록 하는 기술에 관한 것이다.; 광학계의 설계에 있어서 정렬은 중요한 문제 이나 미소한 정렬 오차는 전체 광학계에 큰 영향을 미치지는 않는다. 하지만 미소 광학계에서는 미소한 정렬 오차라도 상대적으로 큰 오차가 되므로 광학계 전체의 광 손실에 영향을 미치게 된다.; 이에, 본 발명은 미소 광 소자에 광섬유 등의 미소 광학소자를 고정시킬 수 있는 고정 정렬장치의 제조방법에 있어서, 미소 광 소자의 뒷면에 감광제를 도포하고, 포토 마스크를 이용한 사진 식각 공정에 의해 필요한 부분만을 노광 시킨 다음, 현상을 통해서 불필요한 감광제를 제거함으로써 광섬유를 결합시킬 수 있도록 크기가 적합한 미소한 틈을 갖는 고정 정렬장치를 제조하는 것을 특징으로 하는 감광제를 이용한 광섬유 고정 정렬장치의 제조방법을 제시한다.; 따라서, 본 발명에서와 같이 미소 광 소자에 광섬유의 정렬을 위한 부속 장치가 부착될 경우 미소 광학계에서의 미소 정렬 오차에 의한 광 손실을 막을 수 있게 된다.미소 광 소자에 광섬유 등의 미소 광학소자를 고정시킬 수 있는 고정 정렬장치의 제조방법에 있어서, 미소 광 소자의 뒷면에 감광제를 도포하고, 포토 마스크를 이용한 사진 식각 공정에 의해 필요한 부분만을 노광 시킨 다음, 현상을 통해서 불필요한 감광제를 제거함으로써 광섬유를 결합시킬 수 있도록 크기가 적합한 미소한 틈을 갖는 고정 정렬장치를 제조하는 것을 특징으로 하는 감광제를 이용한 광섬유 고정 정렬장치의 제조방법.